Первоначально орден состоял только из баварцев, но потом его новый адепт — литератор барон Адольф фон Книгге (Филон), гамбургский издатель Христов Боде, гёттингенский профессор философии М. Федер и другие, начиная примерно с 1780 года, стали оказывать содействие в создании филиалов союза в других частях Германии. В Веймаре в орден вступили наиболее влиятельные члены масонской ложи «Амалия», включая Гёте, Гардера и герцога Карла-Августа. Членами ордена, по некоторым сведениям, состояли Моцарт, Шиллер, Виланд.
К середине 1782 года орден насчитывал примерно 300, а ещё через два года — свыше 650 человек. Это была сравнительно небольшая группа буржуазной интеллигенции и либеральных дворян, авангард немецкой буржуазии, слабо связанный с её основными слоями. Иллюминаты были принципиальными противниками вовлечения в своё движение «непросвещённых» народных масс.
Вначале Вейсхаупт обладал диктаторской властью в обществе, но позднее на равноправное участие в руководстве стали претендовать и другие члены ареопага — верховного органа ордена. Их требования были приняты Вейсхауптом и оформлены специальным решением ареопага в июле 1781 года. К этому времени иллюминаты имели свои отделения не только в различных германских государствах, в Австрии и Венгрии, но также в Польше, Нидерландах, Дании, Швеции, Италии, Испании, Швейцарии (где одним из инициаторов филиала ордена стал знаменитый педагог Песталоцци) и особенно во Франции — в городах Страсбурге, Гренобле, Лионе. В Париже к иллюминатам примкнули видные адвокаты, учёные, писатели.
Ещё в 1774 году, до создания Ордена иллюминатов, Вейсхаупт ненадолго стал членом масонской ложи, но разочаровался в масонстве и его мнимозначительных тайнах. Довольно скоро у Вейсхаупта (а потом и у других членов ареопага) возникла идея инфильтрации лож и подчинения их своим целям, а также сокрытия под масонской оболочкой самого существования Ордена иллюминатов. Соблюдение секретности масонскими ложами должно было способствовать осуществлению намерений иллюминатов.
Им действительно удалось подчинить себе ложу в Мюнхене, с помощью которой было можно создавать дочерние ложи. Иллюминаты, правда, без особого успеха, пытались вербовать всех недовольных решениями съезда в Вильгельмсбаде. Вейсхаупт и его единомышленники надеялись, используя хаотическое состояние германского масонства, создать объединение лож под эгидой неких существующих в действительности «древних вождей». Этот план не удался. Аналогичные усилия иллюминаты предпринимали в Польше, а также (безуспешно) во Франции.
По мере численного роста Ордена иллюминатов возникли и усилились трения между низами и верхами иерархии. Некоторые деятели консервативного масонства стали предостерегать против «антихристианских» и «разрушительных» тенденций последователей Вейсхаупта. Вступивший в ряды иллюминатов в 1779 году Книгге вскоре приобрёл среди них авторитет, не уступающий влиянию Вейсхаупта. Книгге сыграл особо активную роль в проникновении иллюминатов в ряды масонства. Между тем по своим взглядам Книгге явно расходился с Вейсхауптом, отвергая его как просветительные планы, так и антиклерикальные тенденции, высказывал симпатию к оккультным и мистическим элементам в воззрениях масонов «строгого послушания».
В отличие от Вейсхаупта Книгге стремился не ускорять крушение этого направления в масонстве, а привлечь на сторону иллюминатов его руководителей вплоть до герцога Фердинанда Брауншвейгского как единомышленника. Попытки Книгге заимствовать у католицизма символическую процедуру, которую он предлагал ввести для возведения иллюминатов в высшие степени, послужили поводом для разрыва. В июле 1784 года он вышел из ордена.